电子行业对氮气纯度要求极高（99.999%以上），用于半导体封装、SMT回流焊等工艺。PSA制氮机需配置多级吸附塔和催化除氧装置，并采用不锈钢管道防止二次污染。在线露点仪和氧分析仪实时监测纯度，确保氮气含水量＜-70℃、氧含量＜5ppm。案例：某晶圆厂通过增加氦气检漏环节，将氮气纯度合格率提升至99.9%。