预处理系统决定氮气质量，必备组件：

1. 冷冻干燥机：将露点降至3℃以下；

2. 三级过滤器：去除油分（＜0.01mg/m³）、颗粒（＜0.01μm）；

3. 活性炭吸附罐：处理有机蒸汽。注意：进气温度需稳定在40℃以下，否则分子筛性能衰减加速。